·PR500/510等离子灰化机
高频输出 50~500W,反应腔 Φ215×305mm
低温等离子·经典桶型。
PR500：手动控制 PR510：自动触摸屏控制
低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。
用途
·去除光刻胶
·部品清洗
·界面活性处理
·微研磨
·硅晶圆，玻璃基板对应
特征
·大口径（Φ215mm）石英反应腔
·小型一体化设计
·操作简单的触摸屏方式（PR510型）
规格
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型号 |
PR500 |
PR510 |
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模式 |
DP模式，桶型 |
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控制部 |
高频输出功率 |
Max500W |
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频率 |
13.56MHz |
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同调方式 |
自动协调 |
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反应部 |
反应腔 |
石英 Φ215×305mm |
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反应气体 |
2系统（O2／CF4） |
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控制 |
手动 |
触摸屏自动控制 |
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配管材质 |
不锈钢、特氟龙 |
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外形尺寸 |
W438×D520×H760mm |
参照规格书 |
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重量 |
约60kg |
参照规格书 |
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电源 |
单相AC100V 9A |
三相AC200V 8A |
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