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型号 |
PR200 |
PR300 |
PR301 |
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模式 |
DP模式，桶型 |
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控制部 |
高频输出 |
Max300W |
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频率 |
13.56MHz |
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同调方式 |
手动2轴同调方式 |
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反应部 |
反应腔 |
耐热玻璃 Φ100×160mm |
超硬质玻璃 Φ64×160mm×3室 |
耐热玻璃 Φ118×160mm |
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反应气体 |
1系统（氧气）流量计 |
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控制 |
手动密闭阀 |
自动减压、自动密闭阀 |
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配管材质 |
不锈钢、特氟龙、铜、铜合金 |
不锈钢、特氟龙 |
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外形尺寸 |
W350×D400×H500mm |
W438×D520×H556mm |
W438×D520×H630mm |
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重量 |
约10kg |
约36kg |
约34kg |
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电源 |
AC100V 15A |
AC100V 7A |
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