| 项目 | 说明 | |
| 放电 | 类型 | 磁控二极管放电型（电场垂直于磁场） |
| 电极组成 | 反向平行盘（嵌入磁铁） | |
| 电压 | 最大0.4Kv DC（直流可变） | |
| 电流 | 最大40mA DC | |
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喷镀速率(最大）[条件] 压力：7Pa 放电电流:40mA 标靶与样品表面之间的距离:20mm |
Pt靶(选配件) | 15nm/min |
| Pt-Pd靶（选配件） | 20nm/min | |
| Au靶(选配件) | 35nm/min | |
| Au-Pd靶（选配件） | 25nm/min | |
| 样品尺寸 | 最大直径 | Ф60mm |
| 最大高度 | 20mm | |
| 机械泵 | 135/162 L/min(50/60Hz) | |
| 靶材﹡² | Pt, Pt-Pd (8: 2), Au, Au-Pd(6: 4) | |
| 电源要求 | 单相,100VAC(±10%)15A(50/60Hz)3-针插头线缆(3m) | |
| 尺寸 | 宽度 | 450mm |
| 长度 | 391mm | |
| 高度 | 390mm | |
| 重量 | 主机:约25Kg 机械泵:约28kg | |
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﹡¹：喷镀速率仅供参考 ﹡²：主机内不包括靶材。请从选项中选择（鉑,铂-钯,金,金-钯) |
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