| 型号 | PDC610 |
| 等离子模式 | RIE/DP（固定模式） |
| 电极构造 | 3段独立平行平板（固定） |
| 高频输出 | Max600W |
| 频率 | 13.56MHz |
| 控制·显示方式 | PLC·触摸屏 |
| 反应腔尺寸 | W350×D270×H300mm |
| 反应腔材质 | A5052 |
| 反应气体 | 2系统（Ar、O2） |
| 填充气体 | N2或干燥空气 |
| 真空泵 | 油泵（约345L/分）·标配 |
| 外形尺寸 | W600×D722×H700mm |
| 外装材质 | 不锈钢 |
| 电源 | 3相 AC200 50/60Hz 15A |
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