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型号 |
YSP63FA |
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模式 |
RIE（DP模式选购） |
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高频输功率 |
600W |
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反应台尺寸 |
W385×D362mm |
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内腔尺寸 |
W395×D378×H45mm（内尺寸） |
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反应气体 |
2进气系统（氧气、氩气） |
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反应气体流量控制 |
质量流量控制器 |
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真空泵 |
旋转式真空泵（约500L/min） |
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气体导入口 |
反应气体2个、填充气体1个、空气1个 |
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外形尺寸 |
W1860×D1100×H1800mm |
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