| 项目 | 说明 | |
| 分辨率 |
0.10nm(晶格分辨率) 0.18nm(点分辨率) |
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| 加速电压 | 300kV、200kV*1、100kV*1 | |
| 放大倍率 | 连续放大模式 | 1,000～1,500,000× |
| 选区模式 | 4,000～500,000× | |
| 低倍模式 | 200～500× | |
| 电子枪 | 灯丝 | LaB6(六硼化镧灯丝，直流加热) |
| 灯丝交换 | 自动升降式电子枪 | |
| 高压电缆 | 阻抗电缆 | |
| 照射系统 | 透镜 | 四级透镜 |
| 聚光镜光阑 | 4孔可变 | |
| 探针尺寸 |
微米束模式：0.05 - 0.2 μm(4级) 纳米束模式：1 - 10 nm(4级) |
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| 电子束倾斜 | ±3° | |
| 成像系统 | 透镜 | 五级透镜 |
| 聚焦 |
图像摇摆调整 利用像散监视器进行正焦补偿 聚焦优化 |
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| 物镜光阑 | 4孔可变光阑 | |
| 选区光阑 | 4孔可变光阑 | |
| 电子衍射 |
选区电子衍射 纳米探针电子衍射 会聚束电子衍射 |
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| 相机长度 | 250 - 3,000 mm | |
| 样品室 | 样品台 | 5轴优中心海帕测角台 |
| 样品尺寸 | 3mmΦ | |
| 样品位置追踪 | X/Y = ±1mm, Z = ±0.3 mm通过CPU控制马达驱动 | |
| 样品位置显示 | 自动驱动，自动跟踪 | |
| 样品倾斜 | α = ±15°, β = ±15°(日立双倾样品台*2) | |
| 防污染 | 冷阱 | |
| 烘烤功能 | 中温烘烤功能 | |
| 观察室 | 荧光屏 | 主屏：110 mmΦ 聚焦屏：30 mmΦ |
| 目镜 | 7.5× | |
| 照相室 | 区域选择 | 整张照相/半张曝光 |
| 胶片 | 25张(2套胶片盒) | |
| 图形用户界面 | 操作系统 | Windows XP |
| 显示器 | 19英寸显示器 | |
| 功能 | 数据库，测量，图像处理 | |
| 数码CCD 相机*3 | 相机耦合 | 透镜耦合 |
| 有效像素 | 1,024 × 1,024 像素 | |
| A/D 分辨率 | 12位 | |
| 真空系统 | 电子枪 | 离子泵：60 L/s |
| 镜筒 | 涡轮分子泵：260 L/s | |
| 观察室/照相室 |
扩散泵：280 L/s 前级泵：135 L/min × 3台 |
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