| 项目 | 内容 | |
|---|---|---|
| 分解能*3 |
4.0 nm @ 20 kV （SE：高真空模式） 15.0 nm @ 1 kV （SE：高真空模式） 5.0 nm @ 20 kV （BSE：低真空模式） |
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| 加速电压 | 0.3 kV ～ 20 kV | |
| 放大倍率 |
6× ～ 300,000× （底片倍率） 16× ～ 800,000× （显示倍率） |
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| 低真空模式 | 真空范围：6 ～ 100 Pa | |
| 电子枪 | 预对中钨灯丝 | |
| 样品台 |
3-轴自动马达台 X：0 ～ 40 mm, Y：0 ～ 50 mm, Z：5 ～ 15 mm R：360°, T：-15° ～ ＋90° |
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| 最大样品尺寸 | 直径80 mm | |
| 最大样品高度 | 40 mm | |
| 尺寸 |
主机：450（W） x 640（D） x 670（H） mm 供电单元：450（W） x 640（D） x 450（H） mm |
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| 探测器选配 | ||
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