| 温度控制技术 | 帕尔贴 | 电加热 | |
| 测量池 | T-PTD 200 | T-PID/44 | T-BTP |
| 温度范围 | -40 °C 到 200 °C | -30 °C 到 190 °C | -20 °C 到 180 °C | -150 °C 到 450 °C |
| 相对湿度范围 | - | - | 5 % 到 95 % | - |
| 法向力范围 | 1 N 到 50 N | 0.7 N 到 50 N | 0.1 N 到 70 N |
| 法向力分辨率 | 0.005 N | ||
| 接触类型 | 点、轴承 | 点、线、平面 | 点、轴承 |
| 速度范围 | 10-6 rpm 至 3000 rpm | 10-6 rpm 到 1000 rpm | 10-6 rpm 到 3000 rpm |
| 滑动速度范围 | 10-8 m/s 到 3.3 m/s | 10-8 m/s 到 2.3 m/s | 10-8 m/s 到 1.4 m/s |
| 扭矩范围 | 1 nNm 到 300 mNm | ||
| 扭矩分辨率 | 0.1 nNm | ||
| 摩擦力范围 | 250 nNm 到 120 N | ||
| 摩擦力分辨率 | 25 nNm | ||
| 频率 | 10-7 Hz 至 100 Hz | 频率 |
| 角振幅 | 1 μrad 至 ∞ μrad | 角振幅 |
| 角度分辨率 | 10 nrad | 角度分辨率 |
| 最小在线磨损深度 | 0.65 μm | |
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