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洁净厌氧高温气氛炉 C1-008

发布时间:2020-02-01 17:22:02浏览次数:
用途:光刻工艺后段,光刻胶固化

特点
•最高工作温度360℃和600℃、洁净度100级、氧浓度20ppm以下。
•程序运转功能,有自动/手动两种操作模式。
•快速升温、降温,降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。
•配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。
•全不锈钢材质。
•在安全方面,配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。

技术规格


型号

洁净厌氧高温气氛炉 C1-008   

温度范围

室温+30360

室温+50500

温度分布精度

±4.0℃(at 360℃)    

±8.0℃(a500℃)

温度上升时间

60min(室温→360℃)      

90min(室温→500℃)

温度下降时间

90min360℃→50℃)     

120min500℃→50℃)

氧浓度

20ppm以下  

氧浓度下降时间

45分钟  

洁净度

100

装备

氮气导入装置、水冷装置、差压计等

尺寸

W600×D600×H600mm    

电源

3AC380V

 



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