| 项目 | 描述 | |
| 分辨率 | 二次电子分辨率 |
30kV时，3.0nm(高真空模式) 3kV时，10nm(高真空模式) |
| 背散射电子分辨率 | 30kV时，340nm(低真空模式) | |
| 放大倍率 | ×5-×300，000 | |
| 加速电压 | 0.3-30KV | |
| 低真空范围 | 6-270pa图形菜单 | |
| 图像移动 | ±50μm（WD=10mm） | |
| 最大样品尺寸 | Ф300mm | |
| 样品台 | X | 150mm |
| Y | 110mm | |
| Z | 5-65mm | |
| R | 360° | |
| T | -20°-90° | |
| 观测区域 | Ф203mm（可旋转） | |
| 最大高度 | 110mm（WD=10mm） | |
| 样品台控制 | 计算机控制5轴马达驱动优中心 | |
| 电子光学 | 电子枪 | 预对中钨灯丝 |
| 物镜光阑 | 可移动式4孔物镜光阑 | |
| 枪偏压 | 带可控4偏压 | |
| 检测器 |
埃弗哈特 索恩利二次电子检测器 高灵敏度半导体背散射电子探测器，五分割 |
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| 分析位置 | WD=10mm 取出角=35° | |
| 显示器 | 自动合轴 | 自动设定束流，自动合轴 |
| 自动图像调整 | 自动聚焦，自动消像散/聚焦，自动调整亮度和对比度 | |
| 存储图像精度 | 640×480像素，1280×960像素，2560×1920像素，5120×3840像素 | |
| 图像文件格式 | BMP，TIFF，JPEG | |
| 图像显示模式 |
全屏显示1280×960像素，小屏显示640×480像素， 双屏显示640×480像素×2，信号混合模式 |
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| 真空系统 | 操作 | 全自动程序 |
| 涡轮分子泵 | 210L/sec.×1 | |
| 机械泵 | 135L/min.(162L/min.60Hz)×1 | |
| 安全措施 | 断电保护，漏电保护 | |
| 辅助功能 | 光栅旋转，动态消像散 | |
| 动态聚焦/倾斜补偿功能 | ||
| 自由排版打印功能，字母/数字功能 | ||
| 三维动画维修指南 | ||
| 导航，测量方便，倾斜画面 | ||
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